项目介绍
XPS因其独有的元素化学态识别功能，广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。
样品要求
1、样品为固体，无腐蚀性、无毒性、无挥发性、无放射性。
2、样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统。
3、样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。
4、样品重量、尺寸要求：
粉末样品不少于10 mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。
块状/片状/薄膜：长宽厚不超出5mm × 5mm × 3 mm（磁性样品尽量小），超出此范围请提前联系，可能会酌情收取制样费。
UPS样品尺寸不小于1 cm × 1 cm。
5、样品数量多的，请务必编号，并拍照。
6、对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记，并拍照。
7、测不了H和He元素，其他元素都可以测。
8、强磁性样品可能无法测得主要元素的信号峰，或者信号较弱。一般含有铁、钴、镍、锰成分的样品，若不提前告知，默认按磁性样品进行退磁处理后再进样！
9、含量低于5%的元素请务必注明。元素分布不均或者质量分数小于2%的元素可能测不出明显信号，不保证测试会出峰，因为含量太低。
10、 元素窄谱测试如有特殊要求请备注，没特殊说明默认测最强峰；若最强峰和其他元素的峰有重叠，默认测次强峰。如果需要增加扫描次数，请提前联系。
11、计算元素数量时，不计算碳元素。同一元素如需测试多个轨道峰，请务必写出，并算作多个元素。
12、样品应充分干燥。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤抽除。若需要我们干燥处理，请提前联系，将加收制样费。
13、请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染。
14、XPS测试需要用导电双面胶把样品固定在样品上，测试过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能会受到污染或者破坏，不保证样品完好，特别建议尽量不回收样品！
15、关于测试结果的提供形式，默认只提供原始数据：VGP、EXCEL格式，未校准，未定量，未分峰。如有数据分析等其它需求，请提前联系，可能会酌情收取部分费用。
16、测试周期: 收到样品后3~5工作日。如果需要加急，根据实际情况酌情加收50%~100%的加急费。
仪器参数
1、能量分辨率及灵敏度：
能量分辨率≤0.5 eV
在束斑大小为400 μm且光源功率≤80W的实验条件下，当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时，计数率≥4,000,000 cps
2、电子能量分析器：
128通道微通道板探测器
能量扫描范围5eV-3000eV，最小能量步长3meV
通过能为1-400eV，连续可调
3、X光源：
微聚焦单色化光源，聚焦可获得最小束斑≤10 ?m
束斑面积从10μm至400μm聚焦连续可调，步长不超过5?m
光源最大功率150W
4、样品台：
多轴样品台：X、Y、Z 方向移动，围绕Z轴旋转，由计算机全自动控制
最大测试样品厚度不小于20 mm
样品台带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台，用于系统自动标定
5、自动化电子/离子中和源：
带有同源双束中和枪，同时具备电子和离子中和能力，且电子及离子来源于同一中和源，可实现自动化精准电荷中和，无需单独调试某一样品
6、离子枪：
用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源，计算机控制，在低束能下保持高通量，自动校准束斑、能量等参数
能量范围：≥4000 eV
最大束流：4 A
离子能量3 keV，束流3.5 ?A时束斑不大于500 ?m
离子束可控轴向旋转
束斑可调，自动对中
7、角分辨XPS：
角分辨XPS用精控步进马达样品托，角度分辨优于1°
内置角分辨XPS数据处理功能，能实现膜厚计算等功能
1、XPS可以测哪些元素？
可以测试除H和He以外的所有元素。
2、XPS中窄谱和价带谱的区别？
窄谱：也叫高分辨谱，是对特定元素的核心能级电子进行精细扫描得到的谱图。主要关注的是元素内层电子的结合能信息，比如对于碳元素的窄谱，通常关注的是C 1s轨道电子的信息；对于氧元素，关注O 1s轨道电子等。每个元素的窄谱都有其特定的结合能位置和峰形，通过对这些特征的分析可以确定元素的化学价态以及与其他元素的成键情况等。
价带谱：测量的是靠近费米能级的低结合能（0~35eV）区域的电子信息。该区域的电子并非元素的内层核心电子，而是反映了固体材料中价电子的分布和能带结构等信息，与材料的电子结构特性密切相关。
3、XPS表征的是样品的表面还是体相？
表面10nm以内。