项目介绍
台阶仪是一种将曲率半径很小的探针和样品表面进行接触，移动探针，测量接触力量的变化，调整探针的高度，从而得到样品的表面形貌。通过该测试，可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据，从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。
样品要求
样品高度不要超过 50mm，膜、片、块，
液体需自行滴硅片。
仪器参数
样品视景: 可选放大率, 1 to 4mm FOV；
探针传感器: 低惯量传感器 (LIS 3)；
探针: 探针曲率半径范围为50nm至25μm, 高径比 (HAR)针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
样品X/Y载物台: 手动 X-Y 平移：100mm (4 英寸), 机动X-Y 平移：150mm (6 英寸)；
样品旋转台: 360°旋转；
扫描长度范围: 55mm (2英寸)；
每次扫描数据点: 120,000；
最大样品厚度：50mm ；
最大晶圆尺寸：200mm；
台阶高度重现性：4Å, 1σ 在 1μ m 台阶上；
垂直范围：1mm；
垂直分辨率：最大 1Å ；
温度范围：运行范围 20 到 25°C (68 到 77°F)；
湿度范围：≤80%。