项目介绍
测试样品表面的粗糙度和三维形貌；材料表面的起伏，平整度；凹坑的深度和面积等；影像三坐标可以测试样品的空间位置：平行度、垂直度以及对角线距离等。
样品要求
1、样品需平整；
2、样品尺寸不超过50*50mm就可以。
仪器参数
测量范围可以从小于1nm至20000μm，0.1nm的纵向分辨率。
样品测试效果图
1、测试样品表面粗糙度可以给出哪些参数？
Ra（轮廓算术平均偏差）；Rq（均方根粗糙度）；Rz（微观不平度十点高度）；Rp（最大轮廓波峰高度）；Rv（最大谷值）。
2、白光干涉仪的测试原理是什么？
白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。